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半导体微纳制造技术及器件 / 先进光电子科学与技术丛书

￥139.00定价

作者：云峰，李强，王晓亮

出版时间：2021-05

出版社：科学出版社

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基本信息评价

出版社：科学出版社
ISBN：9787030661463
版次：31
图书编号：370563
装帧：圆脊精装
开本：B5
出版时间：2021-05
页数：300
中图分类编号：TN

内容简介

本书基于课题组的研究成果和研究方向，对目前主流采用的半导体微纳制造技术进行归纳，结合已得到验证的理论进行部分机理的论述，结合半导体微纳光电器件的发展现状阐述半导体微纳器件的应用及发展趋势。首先对半导体微纳器件的制造技术从图形化衬底技术、外延生长技术和刻蚀技术三方面进行系统的概述，然后对器件的电注入机理及等离子基元局域增强效应进行机理论述，最后结合新型半导体器件归纳半导体微纳器件的功能及发展。