第1章薄膜光学特性计算基础__eol__11引言__eol__12单一界面的反射率和透射率__eol__13单层介质膜的反射率__eol__131单层介质膜与基底组合的等效光学导纳__eol__132单层介质膜的光学特性__eol__14多层介质膜的反射率和透射率__eol__15金属薄膜的光学特性__eol__16光学零件的反射率和透射率__eol__17光学薄膜的色度表征与计算__eol__171光学薄膜的透、反射率光谱与颜色__eol__172CIE1931标准色度系统简介__eol__173薄膜颜色的色度学表征__eol__思考题与习题__eol__第2章介质膜系及其应用__eol__21减反射膜__eol__211单层减反射膜__eol__212双层减反射膜__eol__213多层减反射膜__eol__214高折射率基底的减反射膜__eol__215含吸收层的防眩光减反射膜__eol__22高反射膜__eol__221周期性多层膜堆的反射率__eol__222（LH）S周期性多层膜堆的高反射带__eol__223高反射带的展宽__eol__224倾斜入射时的高反射带__eol__225金属反射膜__eol__23中性分束膜__eol__231介质中性分光镜__eol__232偏振中性分束棱镜__eol__233金属中性分光镜__eol__24截止滤光片__eol__241多层膜堆的通带透射率__eol__242通带波纹的压缩__eol__243通带的展宽和压缩__eol__244截止波长和截止带中心的透射率__eol__245截止滤光片倾斜使用时的偏振效应__eol__246截止滤光片的应用__eol__25带通滤光片__eol__251法布里-珀罗滤光片特性__eol__252全介质法布里-珀罗滤光片__eol__253诱导透射滤光片__eol__254法布里-珀罗滤光片的最新应用__eol__255宽带通滤光片__eol__26偏振分束膜__eol__261胶合棱镜介质偏振分光膜__eol__262平板介质偏振分光镜__eol__263金属栅偏振分光镜__eol__27消偏振膜系__eol__271单波长消偏振__eol__272受抑全反射宽波段消偏振分光镜__eol__273金属-介质组合膜堆宽波段消偏振__eol__274消偏振截止滤光片__eol__思考题与习题__eol__第3章光学薄膜制造技术__eol__31光学真空镀膜机__eol__32真空与物理气相沉积__eol__33真空获得与检测__eol__331真空泵__eol__332低温冷凝泵__eol__333PVD使用的高真空系统__eol__334真空度的检测__eol__34热蒸发__eol__35溅射__eol__351辉光放电溅射__eol__352磁控溅射__eol__353离子束溅射__eol__354离子、靶材与溅射率__eol__36离子镀__eol__37离子辅助镀__eol__38等离子体增强化学气相沉积__eol__381PECVD过程的动力学__eol__382PECVD装置__eol__思考题与习题__eol__第4章光学薄膜制造工艺__eol__41光学薄膜器件的质量要素__eol__42影响膜层质量的工艺要素__eol__421影响薄膜器件质量的工艺要素及作用机理__eol__422提高膜层机械强度的工艺途径__eol__423控制膜层折射率的主要工艺途径__eol__424获得致密膜层的方法__eol__43获得精确厚度的方法__eol__431目视法__eol__432极值法__eol__433光电定值法__eol__434任意膜厚的单波长监控__eol__435石英晶振法__eol__436宽光谱膜厚监控__eol__44获得均匀膜层的方法__eol__441影响膜层厚度均匀性的因素__eol__442获得均匀膜层厚度的途径__eol__思考题与习题__eol__第5章薄膜材料及其性质__eol__51薄膜的微观结构与性质__eol__511薄膜结构的材料学基础__eol__512薄膜的光学性质__eol__513薄膜的力学性质__eol__52常用光学薄膜材料__eol__521金属薄膜__eol__522介质薄膜__eol__523特殊材料__eol__思考题与习题__eol__第6章光学薄膜特性测试与分析__eol__61光学薄膜特性的检测标准__eol__611国标（JB/T 6179—92）中规定的光学零件镀膜的分类、符号及标注__eol__612国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检测项目__eol__613国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜试验方法__eol__614国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检验规则__eol__62薄膜透射率、反射率的测量__eol__621光谱仪的基本原理__eol__622薄膜透射率的测量__eol__623薄膜反射率的测量__eol__63薄膜光学常数和厚度的测量__eol__631光度法确定薄膜的光学常数__eol__632椭圆偏振法确定薄膜的光学常数__eol__633薄膜厚度的测量__eol__64薄膜吸收和散射的测量__eol__641薄膜吸收损耗的测量__eol__642薄膜散射损耗的测量__eol__65薄膜激光损伤阈值的测量__eol__651薄膜激光损伤的机理分析 __eol__652薄膜激光损伤阈值的测量标准及方法__eol__653薄膜抗激光损伤阈值测量中应注意的几个问题__eol__66薄膜非光学特性的检测__eol__661薄膜附着力的测量__eol__662薄膜应力的测量__eol__663薄膜的环境试验__eol__664薄膜结构和化学成分检测__eol__思考题与习题__eol__第7章功能薄膜及其应用__eol__71透明导电薄膜__eol__711透明导电薄膜的分类__eol__712透明导电薄膜的基本特性__eol__713透明导电氧化物薄膜的制备__eol__714透明导电氧化物薄膜的特性测试__eol__715透明导电氧化物薄膜的应用__eol__72太阳能薄膜__eol__721太阳能光热转换薄膜__eol__722太阳能光电转换薄膜__eol__73超硬薄膜材料__eol__731金刚石薄膜__eol__732类金刚石（DLC）薄膜__eol__733立方氮化硼薄膜__eol__734CNx薄膜__eol__735其他硬质薄膜__eol__74相位膜__eol__741屋脊棱镜的偏振像差__eol__742矫正偏振像差的相位膜__eol__743屋脊棱镜偏振像差的表征与检测__eol__思考题与习题__eol__附录A常见薄膜材料参数__eol__参考文献__eol__