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出版时间：2023-03

出版社：科学出版社

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基本信息 评价
  • 科学出版社
  • 9787030751928
  • 31
  • 457555
  • 平装胶订
  • 2023-03
  • 244
  • TN4
内容简介
本书重点介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。本书力求让学生在了解集成电路制作基本原理与方法的基础上，紧密地联系生产实际，方便地理解这些原本复杂的工艺和流程，从而系统掌握半导体集成电路制造技术。本书内容由浅入深，理论联系实际，突出应用和基本技能的训练，教学仪器及实验室耗材等全部操作均采用案例教学的方式。
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