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出版时间：2023-12

出版社：科学出版社

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基本信息 评价
  • 科学出版社
  • 9787030731289
  • 31
  • 436278
  • 平装胶订
  • B5
  • 2023-12
  • 192
  • TB43
内容简介
现代半导体技术和先进材料研发的进步，促进薄膜材料和制备技术快速发展，要求薄膜制备技术和薄膜结构有精细控制，需要了解表面与薄膜方面的基本物理知识。本书着重介绍表面与薄膜相关的基本概念、基本原理，帮助理解掌握薄膜技术的基本知识，为工作和科研打下良好基础。本书内容包括真空物理基础、表面科学基础、薄膜物理基础、薄膜生长技术、薄膜结构、表面和薄膜分析技术，以及几种常见的薄膜材料。
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